国家知识产权局信息显示，江苏博涛智能热工股份有限公司取得一项名为“ALD设备的气路管道及易维护气路管道的ALD设备”的专利，授权公告号CN223983726U，申请日期为2025年3月。

专利摘要显示，本实用新型公开了一种ALD设备的气路管道及易维护气路管道的ALD设备，其中气路管道包括腔体内进气管，腔体内进气管还连接有用于连接到匀流背板的管路接口，匀流背板设置有第一接管，管路接口包括的第一套管，第一套管或第一接管其中任一与相邻的匀流背板和腔体内进气管三者共同限定有连接空间，并与两者中另一的第一接管或第一套管匹配设置，连接空间内限制有套设于第一接管或第一套管的密封圈，密封圈设置于连接空间以满足将连接空间的至少部分封闭。本实用新型提供了一种ALD设备外源原料气供气管路接口设计，从而通过可拆卸的气路管道从而实现了管道内部可以快速低成本清理，从而可以实现高质量沉积。

天眼查资料显示，江苏博涛智能热工股份有限公司，成立于2010年，位于苏州市，是一家以从事其他制造业为主的企业。企业注册资本10613.7931万人民币。通过天眼查大数据分析，江苏博涛智能热工股份有限公司共对外投资了11家企业，参与招投标项目156次，财产线索方面有商标信息18条，专利信息280条，此外企业还拥有行政许可29个。

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